[发明专利]一种光栅型增益平坦滤波器的飞秒激光刻写系统在审
| 申请号： | 202111505134.5 | 申请日： | 2021-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN114185127A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 徐祖应;卢博闻;宋立;张广博 | 申请（专利权）人： | 长飞（武汉）光系统股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/02 | 分类号： | G02B6/02 |
| 代理公司： | 武汉天领众智专利代理事务所(普通合伙) 42300 | 代理人： | 王能德 |
| 地址： | 430000 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及光纤无源器件的超快激光制造技术领域，尤其涉及一种光栅型增益平坦滤波器的飞秒激光刻写系统，包括光源、光谱仪、高精度单轴位移台、控制模块和激光器；所述光源用于发出测试光信号，并经过未加工光纤至光谱仪显示光源的光谱曲线；所述控制模块用于读取实时光谱曲线，并对比录入的目标光谱曲线，当飞秒激光在该位置曝光足够，使实时光谱曲线与目标光谱曲线重合后，驱动高精度单轴位移台沿光纤轴向进行位移，对下一位置进行曝光，直至实时光谱曲线与目标曲线完全一致后，控制模块驱动激光器关闭激光。本发明读取光谱仪实时数据，并对比录入的目标曲线，通过控制模块来移动光纤位置，调整曝光量来实现任意光谱曲线的GFF的刻写。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光栅 增益 平坦 滤波器 激光 刻写 系统 | ||
【主权项】：
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