[发明专利]一种光栅型增益平坦滤波器的飞秒激光刻写系统

权利要求书

1.一种光栅型增益平坦滤波器的飞秒激光刻写系统，其特征在于：包括光源(1)、光谱仪(5)、高精度单轴位移台(2)、控制模块(3)和激光器(4)；

所述光源(1)用于发出测试光信号，并经过未加工光纤至光谱仪(5)显示光源(1)的光谱曲线；

所述激光器(4)用于在光纤被加工区域进行激光曝光，产生光致折变区域，所述光谱仪(5)用于读出实时光谱曲线变化；所述控制模块(3)与高精度单轴位移台(2)、光谱仪(5)电连接并进行过程控制；

所述控制模块(3)用于读取实时光谱曲线，并对比录入的目标光谱曲线，当飞秒激光在该位置曝光足够，使实时光谱曲线与目标光谱曲线重合后，驱动高精度单轴位移台(2)沿光纤轴向进行位移，对下一位置进行曝光，直至实时光谱曲线与目标曲线完全一致后，控制模块(3)驱动激光器(4)关闭激光。

2.根据权利要求1所述的一种光栅型增益平坦滤波器的飞秒激光刻写系统，其特征在于：所述光源(1)与被加工光纤、光谱仪(5)通过光纤尾纤连接成闭环光学回路。

3.根据权利要求1所述的一种光栅型增益平坦滤波器的飞秒激光刻写系统，其特征在于：所述光源(1)为超连续谱光源，波长范围为400nm-2600nm。

4.根据权利要求1所述的一种光栅型增益平坦滤波器的飞秒激光刻写系统，其特征在于：所述光谱仪(5)为超高分辨率光谱仪，其配备GPIO控制卡，可供控制模块(3)实时读取光谱数据。

5.根据权利要求1所述的一种光栅型增益平坦滤波器的飞秒激光刻写系统，其特征在于：所述高精度单轴位移台(2)配备有光栅尺作为定位基准，具有纳米级的步进精度。

6.根据权利要求1所述的一种光栅型增益平坦滤波器的飞秒激光刻写系统，其特征在于：所述控制模块(3)连接光谱仪(5)实时读取光谱数据，控制模块(3)录入目标光谱曲线，与实时光谱曲线进行数据比对，驱动高精度单轴位移台(2)进行运动。

7.根据权利要求1所述的一种光栅型增益平坦滤波器的飞秒激光刻写系统，其特征在于：所述激光器(4)的光源(1)波长515nm，脉宽290fs，峰值功率20W；同时该飞秒激光经过物镜聚焦于光纤被加工区域。