[发明专利]一种烧蚀过程结构表面形貌测量方法有效
| 申请号： | 202111500062.5 | 申请日： | 2021-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN114353697B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 李亚晖;高贵龙;温珂瑶;刘冲;张杰;吴永程;李知兵;汪韬;尹飞;王迪;闫欣;何凯;岳猛猛;姚东;辛丽伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 董娜 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种烧蚀过程结构表面形貌测量方法，解决现有烧蚀形貌的检测手段，存在或检测精度低，或易受干扰，或无法实时测量的问题。方法包括步骤1)使用脉冲激光器发射脉冲激光；柱面镜和扫描振镜对脉冲激光调制为入射片光源；使用偏振分束镜对入射片光源进行偏振选择；使用1/4波片对偏振选择后的入射片光源进行调制；2)采用1/4波片对反射光进行调制；经调制的反射光透过偏振分束镜；使用窄带滤波片对反射光进行滤波；3)对发射的每一个脉冲激光，相机接收滤波后的反射光进行扫描成像，共获得N张图像信息；4)根据每一张图像中条纹与基准条纹间位移量反演推算被测结构的深度信息，利用深度信息反演重构获得被测结构的完整深度图像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 过程 结构 表面 形貌 测量方法 | ||
【主权项】：
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