[发明专利]一种用于半导体单晶炉设备电控提升臂装置

摘要

本发明属于直拉单晶技术领域，具体的说是一种用于半导体单晶炉设备电控提升臂装置，包括提升臂；所述提升臂端部安装有电机；所述提升臂端部靠近电机的位置转动连接有卷丝轴，且卷丝轴由电机驱动；所述提升臂下侧设有取晶吊钩；所述取晶吊钩上端设有钢丝绳，且钢丝绳的另一端穿过提升臂内部并固接在卷丝轴外侧；本发明是在设备本身的提升臂上设置电控取晶提升装置，不需要额外的设备接入即可将晶棒取出，体积小，集成，方便，便于自动化操作，由于电控取晶装置是安装在设备本体提升臂上，本身精度高，提升力大，便于安装，使取晶操作更为安全可靠，控制信号由设备本体引出，运行可控，不需要人为干预。