[发明专利]分子泵的防凝露系统及防凝露方法在审
申请号: | 202111495148.3 | 申请日: | 2021-12-09 |
公开(公告)号: | CN113898613A | 公开(公告)日: | 2022-01-07 |
发明(设计)人: | 苏子慕;张亚楠;顾艳庆;李赏 | 申请(专利权)人: | 北京中科科仪股份有限公司 |
主分类号: | F04D29/58 | 分类号: | F04D29/58;F04D19/04 |
代理公司: | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人: | 张欣 |
地址: | 100089 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本公开披露了一种分子泵的防凝露系统及防凝露方法,所述防凝露系统包括:分子泵,包括泵体以及为所述泵体供电的电源;冷却水流道,位于所述电源内部,以利用冷却水对所述电源进行冷却;第一温度采集单元,位于所述冷却水流道处,用于采集所述冷却水的温度;加热单元,用于对所述冷却水进行加热;控制部分,与所述第一温度采集单元和所述加热单元相连,用于根据所述第一温度采集单元采集到的冷却水的温度控制所述加热单元对所述冷却水进行加热,使得所述冷却水的温度不低于所述电源内部的空气的露点温度。本申请的技术方案能够防止凝露在分子泵电源内部形成,有效避免了电源内部电子元件短路、失效的风险。 | ||
搜索关键词: | 分子 防凝露 系统 方法 | ||
【主权项】:
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