[发明专利]分子泵的防凝露系统及防凝露方法

权利要求书

1.一种分子泵的防凝露系统，其特征在于，包括：

分子泵，包括泵体以及为所述泵体供电的电源；

冷却水流道，位于所述电源内部，以利用冷却水对所述电源进行冷却；

第一温度采集单元，位于所述冷却水流道处，用于采集所述冷却水的温度；

加热单元，用于对所述冷却水进行加热；

控制部分，与所述第一温度采集单元和所述加热单元相连，用于根据所述第一温度采集单元采集到的冷却水的温度控制所述加热单元对所述冷却水进行加热，使得所述冷却水的温度不低于所述电源内部的空气的露点温度。

2.根据权利要求1所述的分子泵的防凝露系统，其特征在于，还包括：

第二温度采集单元，位于所述电源内部，以采集所述电源内部的空气温度；

冷却水阀，与所述冷却水流道相连，用于控制所述冷却水的流量；

所述控制部分还与所述第二温度采集单元和所述冷却水阀相连，用于根据所述第二温度采集单元采集到的所述电源内部的空气温度，控制所述冷却水阀的开度，以调节所述冷却水的流量。

3.根据权利要求2所述的分子泵的防凝露系统，其特征在于，还包括：

所述控制部分根据所述第二温度采集单元采集的空气温度修正得到所述电源内部的空气湿度；

所述控制部分根据所述空气温度及所述空气湿度计算所述电源内部的空气的露点温度。

4.根据权利要求1所述的分子泵的防凝露系统，其特征在于，所述第一温度采集单元位于所述冷却水流道的入口处。

5.根据权利要求1所述的分子泵的防凝露系统，其特征在于，所述分子泵为磁悬浮分子泵。

6.一种分子泵的防凝露方法，其特征在于，所述分子泵包括泵体以及为所述泵体供电的电源，所述电源内部设置有冷却水流道，以利用冷却水对所述电源进行冷却，

所述方法包括：

采集所述冷却水的温度；

根据所述冷却水的温度对所述冷却水进行加热，使得所述冷却水的温度不低于所述电源内部的空气的露点温度。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括：

采集所述电源内部的空气温度；

根据所述电源内部的空气温度调节所述冷却水的流量。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，还包括：

根据所述电源内部的空气温度修正得到电源内部的空气湿度；

根据所述电源内部的空气湿度和所述电源内部的空气温度，计算所述电源内部的空气的露点温度。

9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述分子泵为磁悬浮分子泵。