[发明专利]分子泵的防凝露系统及防凝露方法

说明书

本公开披露了一种分子泵的防凝露系统及防凝露方法，所述防凝露系统包括：分子泵，包括泵体以及为所述泵体供电的电源；冷却水流道，位于所述电源内部，以利用冷却水对所述电源进行冷却；第一温度采集单元，位于所述冷却水流道处，用于采集所述冷却水的温度；加热单元，用于对所述冷却水进行加热；控制部分，与所述第一温度采集单元和所述加热单元相连，用于根据所述第一温度采集单元采集到的冷却水的温度控制所述加热单元对所述冷却水进行加热，使得所述冷却水的温度不低于所述电源内部的空气的露点温度。本申请的技术方案能够防止凝露在分子泵电源内部形成，有效避免了电源内部电子元件短路、失效的风险。

技术领域

本公开涉及分子泵领域，具体涉及一种分子泵的防凝露系统及防凝露方法。

背景技术

分子泵是一种真空泵，由分子泵泵体及分子泵电源组成。分子泵电源为分子泵泵体供电，分子泵电源通常是通过水冷的方式进行冷却以防止分子泵电源内部温度过高，影响电信号的传输及分子泵运行的稳定性。

然而，分子泵电源内部会形成凝露，分子泵电源内部的凝露会造成电子元件的短路及失效。现有的分子泵电源不能防止凝露在分子泵电源内部形成。

因此，亟需一种分子泵防凝露系统及凝露方法，防止凝露在分子泵电源内部形成。

发明内容

有鉴于此，本公开提供一种分子泵的防凝露系统及防凝露方法，以防止凝露在分子泵电源中上形成。

第一方面，一种分子泵的防凝露系统，包括，分子泵，包括泵体以及为所述泵体供电的电源；冷却水流道，位于所述电源内部，以利用冷却水对所述电源进行冷却；第一温度采集单元，位于所述冷却水流道处，用于采集所述冷却水的温度；加热单元，用于对所述冷却水进行加热；控制部分，与所述第一温度采集单元和所述加热单元相连，用于根据所述第一温度采集单元采集到的冷却水的温度控制所述加热单元对所述冷却水进行加热，使得所述冷却水的温度不低于所述电源内部的空气的露点温度。

可选地，所述分子泵的防凝露系统还包括，第二温度采集单元，位于所述电源内部，以采集所述电源内部的空气温度；冷却水阀，与所述冷却水流道相连，用于控制所述冷却水的流量；所述控制部分还与所述第二温度采集单元和所述冷却水阀相连，用于根据所述第二温度采集单元采集到的所述电源内部的空气温度，控制所述冷却水阀的开度，以调节所述冷却水的流量。

可选地，所述分子泵的防凝露系统还包括，所述控制部分根据所述第二温度采集单元采集的空气温度修正得到所述电源内部的空气湿度；所述控制部分根据所述空气温度及所述空气湿度计算所述电源内部的空气的露点温度。

可选地，所述第一温度采集单元位于所述冷却水流道的入口处。

可选地，所述分子泵为磁悬浮分子泵。

第二方面，提供一种分子泵的防凝露方法，所述分子泵包括泵体以及为所述泵体供电的电源，所述电源内部设置有冷却水流道，以利用冷却水对所述电源进行冷却，所述方法包括：采集所述冷却水的温度；根据所述冷却水的温度对所述冷却水进行加热，使得所述冷却水的温度不低于所述电源内部的空气的露点温度。

可选地，所述方法还包括，采集所述电源内部的空气温度；据所述电源内部的空气温度调节所述冷却水的流量。

可选地，所述方法还包括，根据所述电源内部的空气温度修正得到电源内部的空气湿度；根据所述电源内部的空气湿度和所述电源内部的空气温度，计算所述电源内部的空气的露点温度。

可选地，所述分子泵为磁悬浮分子泵。

本公开实施例提供的技术方案，能够对分子泵电源的冷却水进行加热，使冷却水的温度不低于分子泵电源内部的空气的露点温度，从而防止凝露在分子泵电源内部形成。

附图说明

图1为本公开实施例提供的一种分子泵的防凝露系统示意图。