[发明专利]一种一体化MEMS氢气传感器制备方法在审
| 申请号： | 202111485555.6 | 申请日： | 2021-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN114152652A | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 胡庆敏;徐甲强;张景韬;王晨 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 上海海贝律师事务所 31301 | 代理人： | 范海燕 |
| 地址： | 200436*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明涉及气体传感器技术领域，具体地说是一种一体化MEMS氢气传感器制备方法，对MEMS进行清洁和干燥后转移至ALD反应器中，以四(二甲氨基)锡(IV)和水为前驱体沉积SnO |
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| 搜索关键词： | 一种 一体化 mems 氢气 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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