[发明专利]一种真空加热装置及准分子激光加工系统

摘要

本发明公开了一种真空加热装置，包括腔体(1)和能够封闭或打开腔体(1)的盖体(2)，所述的腔体(1)上设有在盖体(2)封闭腔体(1)时用于对其内进行抽真空的接头(3)，所述的腔体(1)内设置有铁柱(4)，所述的铁柱(4)外套设有螺旋状的铜制线圈(5)，所述的铜制线圈(5)的两端分别与外部的直流高频电源连接，所述的铁柱(4)上设有用于放置工件(100)的放置位(6)，所述的盖体(2)上设有能供准分子激光穿透的镜片(7)。本发明还公开一种采用前述真空加热装置的准分子激光加工系统。本发明真空加热装置及准分子激光加工系统结构简单，不会损坏元器件且安全性好。