[发明专利]一种真空加热装置及准分子激光加工系统

权利要求书

1.一种真空加热装置，其特征在于：包括腔体(1)和能够封闭或打开腔体(1)的盖体(2)，所述的腔体(1)上设有在盖体(2)封闭腔体(1)时用于对其内进行抽真空的接头(3)，所述的腔体(1)内设置有铁柱(4)，所述的铁柱(4)外套设有螺旋状的铜制线圈(5)，所述的铜制线圈(5)的两端分别与外部的直流高频电源连接，所述的铁柱(4)上设有用于放置工件(100)的放置位(6)，所述的盖体(2)上设有能供准分子激光穿透的镜片(7)。

2.根据权利要求1所述的真空加热装置，其特征在于：所述的腔体(1)包括底座(11)和与底座(11)连接的环状体(12)，所述的盖体(2)与环状体(12)连接，所述的底座(11)内穿设有温度感应探头(8)，所述的温度感应探头(8)的感应端伸入至铁柱(4)的正下方。

3.根据权利要求2所述的真空加热装置，其特征在于：所述的铁柱(4)包括穿设在铜制线圈(5)内的柱体(41)和连接在柱体(41)与底座(11)之间的连接体(42)，所述的连接体(42)的横截面积小于柱体(41)的横截面积，所述的放置位(6)设置在柱体(41)的上端。

4.根据权利要求1所述的真空加热装置，其特征在于：所述的腔体(1)上还设有真空压力传感器(9)。

5.根据权利要求1所述的真空加热装置，其特征在于：所述的腔体(1)一侧设有连接耳(10)，所述的盖体(2)一侧设有与连接耳(10)转动连接的连接杆(21)，所述的盖体(2)与腔体(1)之间设有在盖体(2)盖合时用于锁定盖体(2)与腔体(1)的锁定部件(13)。

6.根据权利要求5所述的真空加热装置，其特征在于：所述的锁定部件(13)包括设在腔体(1)上的凸出部(131)，所述的凸出部(131)上转动连接有锁定杆(132)，所述的盖体(2)上凸出耳(133)，所述的凸出耳(133)上设有当盖体(2)盖合在腔体(1)上时能供锁定杆(132)进入的卡槽(134)，所述的锁定杆(132)上还设有当其进入卡槽(134)时能够相对其转动而锁紧盖体(2)和腔体(1)的蝶型螺母(135)。

7.根据权利要求5所述的真空加热装置，其特征在于：所述的高频直流电源为12～24V、100～150kHz。

8.一种准分子激光加工系统，其特征在于：包括准分子激光发生器(200)、直流高频电源、抽真空装置以及权利要求1至7任一项所述的真空加热装置，直流高频电源与所述的铜制线圈(5)连接，抽真空装置与所述的接头(3)连接，所述的准分子激光发生器(200)与真空加热装置之间设有至少一组能使准分子激光发生器(200)发射的准分子激光射入真空加热装置内的反射镜(300)。