[发明专利]一种真空加热装置及准分子激光加工系统

说明书

本发明公开了一种真空加热装置，包括腔体(1)和能够封闭或打开腔体(1)的盖体(2)，所述的腔体(1)上设有在盖体(2)封闭腔体(1)时用于对其内进行抽真空的接头(3)，所述的腔体(1)内设置有铁柱(4)，所述的铁柱(4)外套设有螺旋状的铜制线圈(5)，所述的铜制线圈(5)的两端分别与外部的直流高频电源连接，所述的铁柱(4)上设有用于放置工件(100)的放置位(6)，所述的盖体(2)上设有能供准分子激光穿透的镜片(7)。本发明还公开一种采用前述真空加热装置的准分子激光加工系统。本发明真空加热装置及准分子激光加工系统结构简单，不会损坏元器件且安全性好。

【技术领域】

本发明涉及一种真空加热装置。本发明还涉及一种准分子激光加工系统。

【背景技术】

准分子激光微细加工技术是利用准分子激光器进行加工工艺，准分子激光器能够发射各种不同的特别是紫外谱波段激光，同时在发射短波长时能保持最佳的转换效率,并具有较高的单次激射脉冲能量，这些特点使其得以飞速发展,并在微细加工等领域表现出巨大的应用潜力。

在准分子激光微细加工技术领域，存在在真空中对加热工件进行激光加工处理的情形，目前一般都采用PTC陶瓷加热片、加热电阻进行加热，但是这类元器件在真空中加热容易出现炸裂的情况。为了避免此类缺陷，也有厂家通过钨丝进行加热，但是工件在批量加工过程中需要反复关闭或打开真空腔，因此，钨丝不可避免地接触外部空气容易出现氧化的情况。

因此，亟需寻找一种在真空中加热不会损坏元器件且安全性好的真空加热装置。

【发明内容】

本发明目的是克服了现有技术的不足，提供一种结构简单，不会损坏元器件且安全性好的真空加热装置。

本发明还提供一种采用前述真空加热装置的准分子激光加工系统。

本发明是通过以下技术方案实现的：

一种真空加热装置，包括腔体1和能够封闭或打开腔体1的盖体2，所述的腔体1上设有在盖体2封闭腔体1时用于对其内进行抽真空的接头3，所述的腔体1内设置有铁柱4，所述的铁柱4外套设有螺旋状的铜制线圈5，所述的铜制线圈5的两端分别与外部的直流高频电源连接，所述的铁柱4上设有用于放置工件100的放置位6，所述的盖体2上设有能供准分子激光穿透的镜片7。

所述的腔体1包括底座11和与底座11连接的环状体12，所述的盖体2与环状体12连接，所述的底座11内穿设有温度感应探头8，所述的温度感应探头8的感应端伸入至铁柱4的正下方。

所述的铁柱4包括穿设在铜制线圈5内的柱体41和连接在柱体41与底座11之间的连接体42，所述的连接体42的横截面积小于柱体41的横截面积，所述的放置位6设置在柱体41的上端。

所述的腔体1上还设有真空压力传感器9。

所述的腔体1一侧设有连接耳10，所述的盖体2一侧设有与连接耳10转动连接的连接杆21，所述的盖体2与腔体1之间设有在盖体2盖合时用于锁定盖体2与腔体1的锁定部件13。

所述的锁定部件13包括设在腔体1上的凸出部131，所述的凸出部131上转动连接有锁定杆132，所述的盖体2上凸出耳133，所述的凸出耳133上设有当盖体2盖合在腔体1上时能供锁定杆132进入的卡槽134，所述的锁定杆132上还设有当其进入卡槽134时能够相对其转动而锁紧盖体2和腔体1的蝶型螺母135。

所述的高频直流电源为12～24V、100～150kHz。

一种准分子激光加工系统，其特征在于：包括准分子激光发生器200、直流高频电源、抽真空装置以及权利要求1至7任一项所述的真空加热装置，直流高频电源与所述的铜制线圈5连接，抽真空装置与所述的接头3连接，所述的准分子激光发生器200与真空加热装置之间设有至少一组能使准分子激光发生器200发射的准分子激光射入真空加热装置内的反射镜300。