[发明专利]一种制备陶瓷粉末的装置在审
| 申请号： | 202111459643.9 | 申请日： | 2021-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN116196866A | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 韩刚;郭若冰;戚延龄;程兴德;韩启航 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃先进金属材料研究所有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/08 | 分类号： | B01J19/08;B01J3/00;B01D45/02;C04B35/581;C04B35/626 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 朱得菊;唐嘉 |
| 地址： | 215506 江苏省苏州市常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种制备陶瓷粉末的装置，包括：反应腔；位于反应腔顶部的等离子体发生腔，所述等离子体发生腔与反应腔相连通；位于反应腔内底部的坩埚，所述坩埚用于承载反应物料；高频电源，所述高频电源与等离子体发生腔电连接，所述高频电源用于在等离子体发生腔内生成等离子体；与反应腔相连通的沉降室；位于沉降室底部的收集罐，所述收集罐与沉降室相连通；与沉降室相连通的真空泵，所述真空泵用于使反应腔保持真空状态。所述装置制备的氮化铝纳米颗粒粒度小、纯度高，能够满足高要求器件的原材料需要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 陶瓷 粉末 装置 | ||
【主权项】：
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