[发明专利]一种检测芯片表面的检测设备在审
| 申请号： | 202111435308.5 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114130695A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 何润;刘威 | 申请（专利权）人： | 苏州乾鸣半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/02 | 分类号： | B07C5/02;B07C5/342;B07C5/36;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 杨慧红 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种检测芯片表面的检测设备，包括：上料机台，所述上料机台上设置有至少一组上料移动组件，每组上料移动组件包括上料移动导轨、上料移载组件、上料夹紧组件；测试机台，所述测试机台上设置有至少一组上下料机头模组、吸球检测模组，每组上下料机头模组包括上下料机头、机头移动组件、吸嘴上下料组件；下料机台，所述下料机台上设置有至少一组下料移动组件，下料移动组件的进料端上方设置有抓取料盘组件，下料移动组件的出料端上方位置设置有抓取芯片组件、字符检测模组。本发明用于检测芯片表面的字符和吸球，采用自动化代替人工的方式，防止芯片的漏检、错检。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 芯片 表面 设备 | ||
【主权项】：
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