[发明专利]一种检测芯片表面的检测设备

说明书

本发明公开了一种检测芯片表面的检测设备，包括：上料机台，所述上料机台上设置有至少一组上料移动组件，每组上料移动组件包括上料移动导轨、上料移载组件、上料夹紧组件；测试机台，所述测试机台上设置有至少一组上下料机头模组、吸球检测模组，每组上下料机头模组包括上下料机头、机头移动组件、吸嘴上下料组件；下料机台，所述下料机台上设置有至少一组下料移动组件，下料移动组件的进料端上方设置有抓取料盘组件，下料移动组件的出料端上方位置设置有抓取芯片组件、字符检测模组。本发明用于检测芯片表面的字符和吸球，采用自动化代替人工的方式，防止芯片的漏检、错检。

技术领域

本发明涉及芯片检测技术领域，尤其涉及一种检测芯片表面的检测设备。

背景技术

在半导体芯片的制造过程中可能产生诸如滴落物、脏物、划痕或灰尘等缺陷，上述缺陷影响了芯片的良品率，因此需要对芯片上的字符、吸球进行检测，若采用人工的方式对芯片的表面进行外观检测，即人工借助电子显微镜对芯片的表面进行检测，容易出现漏检或错检的问题，检测效率较低，为此，现有技术中一般采用机器视觉检测技术进行表面缺陷检测，目前的检测方案一般为采用相机垂直拍摄单个芯片的正面，通过获取的单个芯片正面的外观图像进行缺陷检测，但无法对芯片的底面进行检测，浪费了相机的视野，导致检测效率低下，并且还需要额外的底面检测结构，一般采用吸嘴吸取单个芯片，然后通过底面检测结构对芯片的底面进行检测，导致检测装置的制造成本高。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的就在于提供了一种检测芯片表面的检测设备，用于检测芯片表面的字符和吸球，能够根据料盘上整排芯片的数量，调整上下料吸嘴数量，提高了检测效率。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是这样的：一种检测芯片表面的检测设备，包括：

上料机台，所述上料机台上设置有至少一组上料移动组件，每组上料移动组件包括上料移动导轨、上料移载组件、上料夹紧组件，所述上料移载组件设置于上料移动导轨的下方位置，所述上料夹紧组件设置于上料移载组件上，所述上料移动导轨上设置有待测料盘上料位、待测料盘测试位、待测料盘下料位；

测试机台，所述测试机台上设置有至少一组上下料机头模组、吸球检测模组，每组上下料机头模组包括上下料机头、机头移动组件、吸嘴上下料组件，所述吸嘴上下料组件设置于上下料机头上，所述吸球检测模组位于吸嘴上下料组件下方位置；所述上下料机头设置于机头移动组件上，机头移动组件驱动上下料机头上的吸嘴上下料组件在待测料盘测试位、吸球检测模组上方位置之间做往复运动；

下料机台，所述下料机台上设置有至少一组下料移动组件，下料移动组件的进料端上方设置有抓取料盘组件，下料移动组件的出料端上方位置设置有抓取芯片组件、字符检测模组。

作为一种优选方案，所述上料移动导轨包括对应设置的第一上料移动轨道、第二上料移动轨道，所述第一上料移动轨道、第二上料移动轨道的待测料盘上料位处设置有上料防落组件。

作为一种优选方案，所述上下料机头包括机头滑动板、吸嘴移动组件，所述吸嘴移动组件包括吸嘴移动电机、第一吸嘴移动滑轨、第二吸嘴移动滑轨、吸嘴移动传动带，所述第一吸嘴移动滑轨、第二吸嘴移动滑轨设置于机头滑动板上；所述吸嘴移动传动带通过吸嘴移动主轮、吸嘴移动从轮布设于第一吸嘴移动滑轨、第二吸嘴移动滑轨之间，所述吸嘴移动电机与吸嘴移动主轮相连接；所述吸嘴移动传动带驱动吸嘴上下料组件在第一吸嘴移动滑轨、第二吸嘴移动滑轨上运动。

作为一种优选方案，所述机头移动组件包括机头移动电机、机头移动滑轨、机头移动传动带，所述机头移动滑轨设置于龙门架上；所述机头移动传动带通过机头移动主轮、机头移动从轮布设于机头移动滑轨的下方位置，且机头滑动板穿设于机头移动传动带上，所述机头移动电机与机头移动主轮相连接。