[发明专利]一种检测芯片表面的检测设备

权利要求书

1.一种检测芯片表面的检测设备，其特征在于，包括：

上料机台，所述上料机台上设置有至少一组上料移动组件，每组上料移动组件包括上料移动导轨、上料移载组件、上料夹紧组件，所述上料移载组件设置于上料移动导轨的下方位置，所述上料夹紧组件设置于上料移载组件上，所述上料移动导轨上设置有待测料盘上料位、待测料盘测试位、待测料盘下料位；

测试机台，所述测试机台上设置有至少一组上下料机头模组、吸球检测模组，每组上下料机头模组包括上下料机头、机头移动组件、吸嘴上下料组件，所述吸嘴上下料组件设置于上下料机头上，所述吸球检测模组位于吸嘴上下料组件下方位置；所述上下料机头设置于机头移动组件上，机头移动组件驱动上下料机头上的吸嘴上下料组件在待测料盘测试位、吸球检测模组上方位置之间做往复运动；

下料机台，所述下料机台上设置有至少一组下料移动组件，下料移动组件的进料端上方设置有抓取料盘组件，下料移动组件的出料端上方位置设置有抓取芯片组件、字符检测模组。

2.根据权利要求1所述的一种检测芯片表面的检测设备，其特征在于：所述上料移动导轨包括对应设置的第一上料移动轨道、第二上料移动轨道，所述第一上料移动轨道、第二上料移动轨道的待测料盘上料位处设置有上料防落组件。

3.根据权利要求1所述的一种检测芯片表面的检测设备，其特征在于：所述上下料机头包括机头滑动板、吸嘴移动组件，所述吸嘴移动组件包括吸嘴移动电机、第一吸嘴移动滑轨、第二吸嘴移动滑轨、吸嘴移动传动带，所述第一吸嘴移动滑轨、第二吸嘴移动滑轨设置于机头滑动板上；所述吸嘴移动传动带通过吸嘴移动主轮、吸嘴移动从轮布设于第一吸嘴移动滑轨、第二吸嘴移动滑轨之间，所述吸嘴移动电机与吸嘴移动主轮相连接；所述吸嘴移动传动带驱动吸嘴上下料组件在第一吸嘴移动滑轨、第二吸嘴移动滑轨上运动。

4.根据权利要求3所述的一种检测芯片表面的检测设备，其特征在于：所述机头移动组件包括机头移动电机、机头移动滑轨、机头移动传动带，所述机头移动滑轨设置于龙门架上；所述机头移动传动带通过机头移动主轮、机头移动从轮布设于机头移动滑轨的下方位置，且机头滑动板穿设于机头移动传动带上，所述机头移动电机与机头移动主轮相连接。

5.根据权利要求3所述的一种检测芯片表面的检测设备，其特征在于：所述吸嘴上下料组件包括吸嘴上下料架、至少两个上下料吸嘴，所述吸嘴上下料架穿设于吸嘴移动传动带上；所述吸嘴上下料架上部水平设置有第一上下料滑杆，吸嘴上下料架下部水平设置有第二上下料滑杆；每个上下料吸嘴上设置有吸嘴中空连接杆，所述吸嘴中空连接杆上套设有上下料滑动件，该上下料滑动件的上部套设于第一上下料滑杆上，上下料滑动件的下部套设于第二上下料滑杆上。

6.根据权利要求5所述的一种检测芯片表面的检测设备，其特征在于：所述上下料滑动件的顶部设置有升降滑动卡件，所述吸嘴中空连接杆的顶部设置有升降吸嘴卡件，所述升降滑动卡件呈向上斜楔状，所述升降吸嘴卡件呈向下斜楔状，所述升降滑动卡件、升降吸嘴卡件配合卡接。

7.根据权利要求5所述的一种检测芯片表面的检测设备，其特征在于：所述吸嘴上下料架上设置有水平位移卡件，该水平位移卡件位于第一上下料滑杆、第二上下料滑杆之间；所述上下料滑动件的中部设置有水平位移固定件，所述水平位移固定件与水平位移卡件相卡接。

8.根据权利要求1所述的一种检测芯片表面的检测设备，其特征在于：所述吸嘴上下料组件处设置有吸嘴间距调整组件，所述吸嘴间距调整组件包括间距调整架、升降调整电机、升降调整齿轮、升降调整齿条、位移调整电机、位移调整齿轮、位移调整齿条；所述升降调整电机、位移调整电机设置于间距调整架上，且升降调整电机位于位移调整电机的上方；所述升降调整电机驱动升降调整齿轮做旋转运动，所述升降调整齿条水平设置，且升降调整齿条与升降调整齿轮相啮合；所述位移调整电机驱动位移调整齿轮做旋转运动，所述位移调整齿条水平设置，且位移调整齿条与位移调整齿轮相啮合；所述升降调整齿条与位移调整齿条通过滑动导轨设置于间距调整架上，且升降调整齿条位于位移调整齿条上方位置。