[发明专利]一种静电力调谐型MEMS电场传感器和检测方法在审
| 申请号： | 202111408937.9 | 申请日： | 2021-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN114113814A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 储昭志;闻小龙;杨鹏飞;彭春荣;夏善红;刘宇涛;吴双 | 申请（专利权）人： | 北京中科飞龙传感技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 谢明晖 |
| 地址： | 100089 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种静电力调谐型MEMS电场传感器和控制方法，包括驱动电极、拾振电极、谐振结构、静电力敏感电极，静电力敏感电极与谐振结构相连，驱动电极用于与谐振结构之间形成驱动电容，拾振电极用于与谐振结构之间形成拾振电容，静电力敏感电极用于感应待测电场，引起谐振结构谐振频率的变化，拾振电极检测谐振结构谐振频率的变化，得到待测电场的检测结果。本申请通过在驱动电极上施加激励信号，引起谐振结构的谐振，静电力敏感电极在待测电场的静电力作用下，引起谐振结构的谐振频率的变化，拾振电极通过检测谐振频率的变化，实现对待测电场的测量，本传感器结构简单、易于制备、成本较低，有利于规模化网络化应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电力 调谐 mems 电场 传感器 检测 方法 | ||
【主权项】：
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