[发明专利]一种夹具、晶棒抓取装置和单晶炉在审
申请号: | 202111396576.0 | 申请日: | 2021-11-23 |
公开(公告)号: | CN114277440A | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 叶钢飞;曹建伟;傅林坚;朱亮;倪军夫;梁晋辉;叶雷江 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本申请涉及单晶炉技术领域,尤其是涉及一种夹具,基座,基座固定;夹块,夹块具有两个,两个夹块相对设置,在两个夹块之间形成夹持空间,其中,至少一个夹块滑移连接于基座上,且滑移方向与两个夹块的设置方向平行;以及驱动组件,驱动组件固定于基座上,且作用于可滑移的夹块上。本申请的有益技术效果:夹块滑移连接于基座上,且调节块与夹块之间通过连杆连接,连杆的两端分别与调节块、夹块转动连接,通过驱动调节块相对于基座的位置,实现两个夹块对晶棒的夹持或放开,解决了现有技术中大尺寸的单晶炉取棒不便的技术问题,达到方便大尺寸单晶炉取棒的技术效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 夹具 抓取 装置 单晶炉 | ||
【主权项】:
暂无信息
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