[发明专利]具有内置测试致动器的MEMS振梁加速度计在审
| 申请号： | 202111396152.4 | 申请日： | 2021-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN114594279A | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 约翰·赖因克 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 陈岚 |
| 地址： | 美国北卡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种示例性系统，该示例性系统包括：微机电系统(MEMS)振梁加速度计(VBA)，该MEMS VBA包括：检验质量块；和第一谐振器，该第一谐振器机械地耦合至该检验质量块；第一电极，该第一电极被配置为向该检验质量块施加力。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 内置 测试 致动器 mems 加速度计 | ||
【主权项】：
暂无信息
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