[发明专利]数字微流控芯片

摘要

本发明提供一种数字微流控芯片，其包括有源矩阵薄膜晶体管阵列基板、分立式疏水膜、上盖板、疏水膜以及注入在所述分立式疏水膜和疏水膜之间的液滴和硅油；所述有源矩阵薄膜晶体管阵列基板包括多个薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括栅极、覆盖所述栅极的栅介电层、位于所述栅介电层上且位于所述栅极上方的沟道区、分别位于所述沟道区两侧且均与所述沟道区接触的源极和漏极；所述漏极和栅极均投影到同一个平面时漏极和栅极之间存在间距。本发明偏置漏极的AM‑TFT阵列基板可以提高数字微流控芯片的工作电压，工作电压可以根据应用需求可调，提高了系统的通用性；分立式疏水膜用完可以直接撕下来扔掉、更换；本发明数字微流控芯片可以重复利用、节约成本。