[发明专利]制备单晶金刚石的马赛克拼接装置及沉积方法在审
| 申请号： | 202111373766.0 | 申请日： | 2021-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN114032610A | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 曹振忠;王希玮;徐昌;王笃福;王盛林;刘长江 | 申请（专利权）人： | 济南金刚石科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B25/02;C30B33/06;C30B29/04 |
| 代理公司： | 济南日新专利代理事务所(普通合伙) 37224 | 代理人： | 王书刚 |
| 地址： | 250101 山东省济南市高新技*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种制备单晶金刚石的马赛克拼接装置及方法，该装置包括基片、外环、压缩弹簧和固定块；外环连接在基片上，外环中设置有贯穿的测温孔，基片上在外环内分布有固定块和压缩弹簧，基片上在外环内分布有固定块和压缩弹簧，压缩弹簧处于固定块与外环内壁之间。上述装置制备单晶金刚石的方法是将整个装置置于生长腔室内，通过压缩弹簧将各单晶衬底片挤压在各个固定块之间，处于外环的中心位置。本发明通过压缩弹簧同时均匀的向内挤压单晶衬底片，使衬底片之间接触更加紧密，使衬底片更好的接触基片，排除了异物干扰，保证了衬底片的高度统一，同时也避免了对单晶衬底片的污染，消除了拼接缝出现边缘多晶的现象，明显改善了晶体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 金刚石 马赛克 拼接 装置 沉积 方法 | ||
【主权项】：
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