[发明专利]分体式组合石英坩埚模具在审
| 申请号： | 202111366267.9 | 申请日： | 2021-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN113954205A | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 陈怀斌 | 申请（专利权）人： | 江苏神汇新型陶瓷材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B28B1/20 | 分类号： | B28B1/20;B28B17/00;C04B35/14;C04B35/622;C04B35/66 |
| 代理公司： | 连云港润知专利代理事务所 32255 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 222000 江苏省连云港市东*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种分体式组合石英坩埚模具，包括由若干高纯石英陶瓷件组合码砌而成的内壳，在内壳外套装有水冷却循环套，在水冷却循环套与内壳外壁之间留有抽气间隙，在高纯石英陶瓷件上均开设有与抽气间隙连通的抽真空孔，在水冷却循环套的底部固定连通有与抽气间隙连通的抽真空管道。本申请提供的分体式组合石英坩埚模具为分体式结构，具有膨胀系数小、热震性好的优点，在高温下不易膨胀变型，并且高纯石英陶瓷件采用高纯二氧化硅制成，与坩埚原料用的高纯石英砂接触无污染，每只模具使用周期长，有效降低了坩埚的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 体式 组合 石英 坩埚 模具 | ||
【主权项】：
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