[发明专利]检测装置及其检测方法在审
| 申请号： | 202111362129.3 | 申请日： | 2021-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN113899959A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 项久峻;黄美玉;袁凯;梅文栋 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12;H05F3/04;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 龚素素 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检测装置及其检测方法，涉及检测技术领域，为解决在将显示基板从检测装置上取下时，容易产生静电不良的问题。所述检测装置包括：机台和多个支撑针；支撑针能够在支撑状态和非支撑状态之间切换；在支撑状态下，所述支撑针伸出所述机台撑起待测基板，在非支撑状态下，所述支撑针与所述待测基板分离；所述支撑针包括：支撑臂和放电结构；所述支撑臂限定出第一腔室；所述支撑臂上设置有进气口和出气口，所述进气口和所述出气口均与所述第一腔室连通，在所述支撑状态下能够控制所述出气口的高度高于所述机台的表面的高度；所述放电结构的至少部分位于所述第一腔室内，所述放电结构包括放电部，所述放电部的放电端从所述出气口伸出。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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