[发明专利]检测装置及其检测方法

说明书

本发明提供一种检测装置及其检测方法，涉及检测技术领域，为解决在将显示基板从检测装置上取下时，容易产生静电不良的问题。所述检测装置包括：机台和多个支撑针；支撑针能够在支撑状态和非支撑状态之间切换；在支撑状态下，所述支撑针伸出所述机台撑起待测基板，在非支撑状态下，所述支撑针与所述待测基板分离；所述支撑针包括：支撑臂和放电结构；所述支撑臂限定出第一腔室；所述支撑臂上设置有进气口和出气口，所述进气口和所述出气口均与所述第一腔室连通，在所述支撑状态下能够控制所述出气口的高度高于所述机台的表面的高度；所述放电结构的至少部分位于所述第一腔室内，所述放电结构包括放电部，所述放电部的放电端从所述出气口伸出。

技术领域

本发明涉及检测技术领域，尤其涉及一种检测装置及其检测方法。

背景技术

在显示面板制造行业中，静电是行业内最难解决的问题之一。显示面板制作过程中，各部件摩擦或者以各种能量，如动能、位能、热能等形式作用，会使正负电荷不平衡，从而产生静电现象。

在对显示基板完成检测，要将显示基板从检测装置上取下时，检测装置中的支撑结构会将显示基板撑起，实现显示基板与检测装置的机台表面分离，然后将显示基板取下。但是整个取下过程中，容易产生静电不良。

发明内容

本发明的目的在于提供一种检测装置及其检测方法，用于解决在将显示基板从检测装置上取下时，容易产生静电不良的问题。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

本发明的第一方面提供一种检测装置，包括：机台和多个支撑针；所述支撑针能够在支撑状态和非支撑状态之间切换；在所述支撑状态下，所述支撑针伸出所述机台撑起待测基板，在所述非支撑状态下，所述支撑针与所述待测基板分离；

所述支撑针包括：支撑臂和放电结构；

所述支撑臂限定出第一腔室；所述支撑臂上设置有进气口和出气口，所述进气口和所述出气口均与所述第一腔室连通，在所述支撑状态下能够控制所述出气口的高度高于所述机台的表面的高度；

所述放电结构的至少部分位于所述第一腔室内，所述放电结构包括放电部，所述放电部的放电端从所述出气口伸出。

可选的，所述出气口中设置有气体喷嘴，所述放电部的放电端从所述气体喷嘴伸出；所述检测装置还包括供电单元；所述放电结构还包括：第一信号线和第一连接端子；

所述第一信号线位于所述第一腔室内，所述第一连接端子贯穿所述支撑臂，所述第一信号线的第一端与所述放电部的非放电端耦接，所述第一信号线的第二端与所述第一连接端子耦接，所述第一连接端子与所述供电单元耦接。

可选的，所述检测装置还包括供电单元；所述放电结构包括：

壳体，所述壳体内包括气道，所述气道的进气端与所述进气口连通，所述壳体上设置有电源信号接入端子；

喷头，所述喷头的至少部分位于所述壳体内，所述喷头与所述气道的出气端连通，且所述喷头与所述出气口连通；所述放电部的放电端从所述喷头伸出，所述放电部的非放电端与所述电源信号接入端耦接；

第一信号线，所述第一信号线位于所述第一腔室内；

第一连接端子，所述第一连接端子贯穿所述支撑臂；所述第一信号线的第一端与所述电源信号接入端耦接，所述第一信号线的第二端与所述第一连接端子耦接，所述第一连接端子与所述供电单元耦接。

可选的，所述检测装置还包括：导气管和供气单元，所述导气管的输入端与所述供气单元耦接，所述导气管的输出端与所述多个支撑针包括的多个支撑臂上的进气口分别耦接。

可选的，所述支撑针还包括支撑头，所述支撑头可拆卸的设置于所述支撑臂朝向所述待测基板的顶端。

可选的，所述检测装置还包括：