[发明专利]液体喷出头用基板和液体喷出头

摘要

本发明涉及液体喷出头用基板和液体喷出头。一种液体喷出头用基板，其包括：基材、包括用于产生将液体排出的热能的发热电阻器层的发热元件、用于向发热元件供给电力的配线层、和用于使发热电阻器层与配线层绝缘的层间绝缘膜。用于使发热电阻器层和与发热电阻器层相邻的第一配线层绝缘的第一层间绝缘膜和用于使第一配线层和与第二层间绝缘膜相邻的第二配线层绝缘的第二层间绝缘膜的一部分包括由SiwOxCyNz(w+x+y+z＝100(原子％)，37≤w≤60(原子％)，30≤x≤53(原子％)，6≤y≤29(原子％)，4≤z≤9(原子％))表示的材料层。