[发明专利]液体喷出头用基板和液体喷出头

权利要求书

1.一种液体喷出头用基板，其特征在于，其包括：

基材；

包括用于产生将液体排出的热能的发热电阻器层的发热元件；

用于向所述发热元件供给电力的配线层；和

用于使所述配线层绝缘的绝缘膜，

其中所述绝缘膜的至少一部分包括由Si_wO_xC_yN_z表示的材料层，并且

其中w+x+y+z＝100原子％，37原子％≤w≤60原子％，30原子％≤x≤53原子％，6原子％≤y≤29原子％，和4原子％≤z≤9原子％。

2.根据权利要求1所述的液体喷出头用基板，

其中由所述Si_wO_xC_yN_z表示的材料层中的w、x、y和z的各范围满足37原子％≤w≤39原子％，33原子％≤x≤41原子％，12原子％≤y≤22原子％和7原子％≤z≤8原子％。

3.根据权利要求1所述的液体喷出头用基板，其包括多个配线层，

其中所述绝缘膜由多个层间绝缘膜构成，

并且所述多个层间绝缘膜包括：

第一层间绝缘膜，其用于使所述发热电阻器层和与所述发热电阻器层相邻的第一配线层绝缘，和

第二层间绝缘膜，其用于使所述第一配线层和与所述第二层间绝缘膜相邻的第二配线层绝缘，

其中所述第一层间绝缘膜和所述第二层间绝缘膜的至少一部分包括由所述Si_wO_xC_yN_z表示的材料层。

4.根据权利要求3所述的液体喷出头用基板，其中所述第一层间绝缘膜的至少一部分包括由所述Si_wO_xC_yN_z表示的材料层。

5.根据权利要求3所述的液体喷出头用基板，其中所述第二层间绝缘膜的至少一部分包括由所述Si_wO_xC_yN_z表示的材料层。

6.根据权利要求3所述的液体喷出头用基板，其进一步包括用于检测所述发热元件的温度的温度检测元件。

7.根据权利要求6所述的液体喷出头用基板，

其中所述温度检测元件配置在所述发热元件的发热电阻器层的下方，

其中所述多个层间绝缘膜包括用于使所述温度检测元件与所述发热电阻器层绝缘的另一层间绝缘膜，并且

其中所述另一层间绝缘膜的至少一部分包括由所述Si_wO_xC_yN_z表示的材料层。

8.根据权利要求7所述的液体喷出头用基板，

其中所述多个层间绝缘膜包括用于使所述温度检测元件与所述配线层绝缘的又一层间绝缘膜，并且

其中所述又一层间绝缘膜的至少一部分包括由所述Si_wO_xC_yN_z表示的材料层。

9.根据权利要求3所述的液体喷出头用基板，其中所述多个层间绝缘膜中的至少一者为上表面被平坦化并且铺设有所述配线层的第一SiO膜。

10.根据权利要求3所述的液体喷出头用基板，其中所述多个层间绝缘膜中的至少一者包括配置在所述配线层上的第二SiO膜和配置在所述第二SiO膜上的由所述Si_wO_xC_yN_z表示的材料层。

11.根据权利要求10所述的液体喷出头用基板，其中所述第二SiO膜被平坦化。