[发明专利]单晶锗红外晶体分光镜、及激光长波红外分束膜制备方法有效

专利信息
申请号: 202111335653.1 申请日: 2021-11-11
公开(公告)号: CN114236661B 公开(公告)日: 2023-09-08
发明(设计)人: 李鹏;李岳峰;陈志航;孙红晓;刘楚;吕一帆 申请(专利权)人: 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
主分类号: G02B5/28 分类号: G02B5/28
代理公司: 西安凯多思知识产权代理事务所(普通合伙) 61290 代理人: 云燕春
地址: 471099 *** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明一种单晶锗红外晶体分光镜、及激光长波红外分束膜制备方法,属于光学薄膜制造技术领域;分光镜由单晶锗红外晶体基底和具有45°入射角在1.064μm高反射、7.7μm~10.3μm高透过率的分束膜两部分构成。分束膜的膜系从里到外共包括22层,其中奇数膜层的膜料均为YbF3,偶数膜层的膜料均为ZnS。本发明严格执行程序设定每层镀膜的过程工艺参数(几何厚度、温度、沉积速率与真空度),并结合膜层厚度在线控制系统控制膜层几何厚度,即可实现单晶锗红外晶体分光镜激光长波红外分束膜制备,最终达到要求的光学特性技术指标。
搜索关键词: 单晶锗 红外 晶体 分光镜 激光 长波 分束膜 制备 方法
【主权项】:
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