[发明专利]一种刻蚀设备的真空系统及防反冲方法在审
| 申请号： | 202111326400.8 | 申请日： | 2021-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN114156151A | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 任升辉;张洪春;薛海宏;王鑫维;秦军;杨杰 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/18 | 分类号： | H01J37/18 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 甄丹凤 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 公开了一种刻蚀设备的真空系统及防反冲方法，所述真空系统包括：真空室；泵，所述泵与所述真空室连通，用于对所述真空室抽真空；以及防反冲装置，所述防反冲装置连接于所述真空室和所述泵之间，防止所述泵内的介质流向所述真空室；以及真空阀，连接于所述真空室和所述泵之间，用于调节抽真空过程中介质流的大小以及控制抽真空过程的起止。本发明提供的刻蚀设备的真空系统在所述真空室和所述泵之间增设了防反冲装置，所述防反冲装置在所述泵发生跳泵停止工作时，防止所述泵内的异物回灌至所述真空室，以保证所述真空室内的真空度，防止真空室的产品报废，同时所述真空室不受影响，避免了真空室停机维护和保养，保证了设备的正常运行时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 设备 真空 系统 反冲 方法 | ||
【主权项】：
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