[发明专利]一种刻蚀设备的真空系统及防反冲方法

权利要求书

1.一种刻蚀设备的真空系统，其特征在于，所述真空系统包括：

真空室；

泵，所述泵与所述真空室连通，用于对所述真空室抽真空；

防反冲装置，所述防反冲装置连接于所述真空室和所述泵之间，防止所述泵内的介质流向所述真空室；以及

真空阀，连接于所述真空室和所述泵之间，用于调节抽真空过程中介质流的大小以及控制抽真空过程的起止。

2.根据权利要求1所述的刻蚀设备的真空系统，其特征在于，所述防反冲装置包括第一端口以及第二端口，介质从所述第一端口流入时，所述防反冲装置开启；介质从所述第二端口流入时，所述防反冲装置关闭。

3.根据权利要求2所述的刻蚀设备的真空系统，其特征在于，所述第一端口与所述真空室连接，所述第二端口与所述泵连接。

4.根据权利要求1所述的刻蚀设备的真空系统，其特征在于，防反冲装置包括止回阀。

5.根据权利要求4所述的刻蚀设备的真空系统，其特征在于，所述止回阀为升降式止回阀、旋启式止回阀和蝶式止回阀中的一种。

6.根据权利要求5所述的刻蚀设备的真空系统，其特征在于，所述止回阀为立式升降止回阀。

7.根据权利要求6所述的刻蚀设备的真空系统，其特征在于，所述立式升降止回阀包括：

阀体，所述阀体内部中空，形成腔体；

阀瓣，所述阀瓣滑动设置于所述腔体内；以及

阀体两端的第一端口和第二端口，所述第一端口和所述第二端口与所述腔体连通。

8.根据权利要求7所述的刻蚀设备的真空系统，其特征在于，所述立式升降止回阀还包括：

安装板，安装板固定于所述腔体内；

滑座，所述滑座固定于所述安装板上，且中心开设有通孔；以及

滑杆，所述滑杆一端连接所述阀瓣，另一端滑动设置于所述通孔内。

9.根据权利要求8所述的刻蚀设备的真空系统，其特征在于，所述阀瓣位于所述腔体靠近所述第一端口的一端。

10.根据权利要求7所述的刻蚀设备的真空系统，其特征在于，所述阀瓣与所述第一端口同轴心设置，且所述阀瓣的截面积大于所述第一端口的横截面的面积。

11.根据权利要求8所述的刻蚀设备的真空系统，其特征在于，所述滑杆还套装有弹簧，所述弹簧夹装于所述滑座和所述阀瓣之间。

12.一种刻蚀设备的真空系统的防反冲方法，其特征在于，所述方法包括：

启动泵，所述真空室内的介质流向所述泵；

所述泵停止工作时，防反冲装置阻止泵内的介质流向所述真空室。