[发明专利]一种激光成像设备以及激光成像方法在审
| 申请号: | 202111318620.6 | 申请日: | 2021-11-09 |
| 公开(公告)号: | CN114002921A | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
| 发明(设计)人: | 陈乃奇;金满军 | 申请(专利权)人: | 深圳市先地图像科技有限公司 |
| 主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 518102 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本申请实施例提供了一种激光成像设备以及激光成像方法,用于提高激光成像设备的精度,提高生产效率。激光成像设备可包括:旋转平台、激光器位移平台、位移编码器以及控制器;其中,旋转平台可沿预设单方向旋转,其上设置有多个凹形孔,每个凹形孔中安装有平整度调节机构,平整度调节机构用于固定加工件并调整的加工件上曝光面的平整度;位移编码器可在旋转平台旋转过程中检测旋转平台上标定点的实时位置;激光器位移平台可沿旋转平台的径向直线方向移动,其上设置有呈直线分布的多个激光器;控制器基于旋转平台上标定点的实时位置确定与激光曝光区域重叠的曝光面,并控制激光器对重叠的曝光面进行曝光。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 激光 成像 设备 以及 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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