[发明专利]一种激光成像设备以及激光成像方法

说明书

本申请实施例提供了一种激光成像设备以及激光成像方法，用于提高激光成像设备的精度，提高生产效率。激光成像设备可包括：旋转平台、激光器位移平台、位移编码器以及控制器；其中，旋转平台可沿预设单方向旋转，其上设置有多个凹形孔，每个凹形孔中安装有平整度调节机构，平整度调节机构用于固定加工件并调整的加工件上曝光面的平整度；位移编码器可在旋转平台旋转过程中检测旋转平台上标定点的实时位置；激光器位移平台可沿旋转平台的径向直线方向移动，其上设置有呈直线分布的多个激光器；控制器基于旋转平台上标定点的实时位置确定与激光曝光区域重叠的曝光面，并控制激光器对重叠的曝光面进行曝光。

技术领域

本申请涉及激光成像技术领域，尤其涉及一种激光成像设备以及激光成像方法。

背景技术

激光成像技术可控制激光器组件扫描曝光面上的感光涂层进行曝光，对曝光之后的感光涂层进行显影，生成所需的显影图像。相对于现有的掩膜曝光成像技术，激光成像技术无需制作掩膜，大大节约了生产成本。

现有的激光成像设备往往控制激光器组件在预设水平方向来回往复扫描曝光面的方式对待加工面进行曝光，每一次来回往复扫描需要进行定位以确定每一次扫描的起点，一次生产过程中多次重复扫描，也就需要进行多次定位，若某一次定位不准就会影响曝光成像的精度。而且现有的激光成像设备的待加工件往往被固定在一个整体平面上，待加工件的平整度只能通过调节整体平面的倾斜度进行调节，不能独立调节每个待加工件的平整度，若单次平整度不符合要求，则该次生产的多个加工件均不符合精度要求，影响多个加工件的整体曝光成像的精度。为解决上述任一项或多项问题，有必要对激光成像设备进行改进。

发明内容

本申请实施例提供了一种激光成像设备以及激光成像方法，用于提高激光成像设备的精度，提高生产效率。

本申请实施例第一方面提供了一种激光成像设备，可包括：旋转平台、激光器位移平台、位移编码器以及控制器；其中，

所述旋转平台可沿预设单方向旋转，其上设置有多个凹形孔，每个凹形孔中安装有平整度调节机构，所述平整度调节机构用于固定加工件并调整的加工件上曝光面的平整度；

所述位移编码器用于在所述旋转平台旋转过程中检测所述旋转平台上标定点的实时位置；

所述激光器位移平台可沿所述旋转平台的径向直线方向移动，其上设置有呈直线分布的多个激光器；

所述多个激光器的出光面与所述加工件上曝光面相对设置，以使得所述多个激光器的焦点聚焦在所述加工件上曝光面上形成激光曝光区域；

所述控制器基于所述旋转平台上标定点的实时位置确定与激光曝光区域重叠的曝光面，并控制激光器对所述重叠的曝光面进行曝光。

可选的，作为一种可能的实施方式，本申请实施例中的激光成像设备中，所述多个激光器呈直线分布在所述旋转平台的径向直线的两端，以同时对两个加工件进行加工。

可选的，作为一种可能的实施方式，本申请实施例中的激光成像设备中，所述多个凹形孔以所述旋转平台的旋转轴为中心，呈中心对称分布。

可选的，作为一种可能的实施方式，本申请实施例中的激光成像设备中，所述平整度调节机构通过负压吸附的方式固定加工件。

可选的，作为一种可能的实施方式，本申请实施例中的激光成像设备中，所述位移编码器为光栅位移传感器或磁栅式传感器。

可选的，作为一种可能的实施方式，本申请实施例中的激光成像设备中，所述平整度调节机构上固定的加工件上曝光面的长和宽都不大于50cm。

本发明实施例第二方面提供了一种激光成像方法，应用于如第一方面以及第一方面任一种可能的实施方式中的激光成像设备，所述激光成像方法包括：

获取激光曝光点的位置信息以及旋转平台上标定点的实时位置；