[发明专利]一种用于金属刻蚀机的刻蚀腔内部沉积面表面处理方法在审
| 申请号： | 202111316991.0 | 申请日： | 2021-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN114188210A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 陈兆超;郭颂;叶联;孙宏博;车东晨;彭泰彦;胡冬冬;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/16;H01J37/305 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 陈月菊 |
| 地址： | 221399 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于金属刻蚀机的刻蚀腔内部沉积面表面处理方法，包括：对陶瓷介质窗的内表面进行加工，使陶瓷介质窗直接朝向腔室的部分内表面的粗糙度增加至Ra5～Ra6，且陶瓷介质窗与腔盖之间的密封面的粗糙度降低至R0.4以下；在陶瓷介质窗的外表面上增加热源，使陶瓷介质窗在晶圆加工过程中，维持自身温度在80℃以上。本发明结合增加粗糙度和高温辅助两种辅助方案，使金属刻蚀机反应腔的工艺时沉积膜能够持续不破裂的时间延长至180射频小时以上，继而减少开腔清洗周期，增加产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 金属 刻蚀 内部 沉积 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
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