[发明专利]N型TopCon电池片及其制备方法

摘要

本发明公开了N型TopCon电池片及其制备方法。该制备方法包括：提供单面含有硼扩散的N型硅片；以硅片背离硼扩散的一侧为背面，对硅片进行背面抛光处理，在硅片背面形成预期尺寸的方块形貌；在硅片背面沉积硅氧化合物层；对硅氧化合物层进行局部激光开槽，以去除开槽部位的硅氧化合物层并对下层硅进行烧灼，形成倒金字塔结构；对得到的硅片进行背面腐蚀处理，并去除未激光区域的硅氧化合物层；在得到的硅片背面沉积隧穿氧化层和多晶硅层，硅片背面金属栅线设置在对应开槽图形的位置。采用该方法既可以提高硅片背面的钝化效果，同时还能提高硅片背面金属电极与硅基体的接触性能，能够降低电池的电阻，同时提高电池的开路电压、填充因子和电池转化效率。