[发明专利]静电微机电系统换能器、制造方法及电子设备在审
| 申请号： | 202111314136.6 | 申请日： | 2021-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN114148985A | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00;H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 柳岩 |
| 地址： | 266101 山东省青岛市崂*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本公开公开了一种静电微机电系统换能器、制造方法及电子设备。该静电微机电系统换能器包括：第一电极；相对于第一电极能移动的第二电极；以及位于第一电极和第二电极之间的电介质层，其中，所述电介质层包括标准部分和泄漏部分，所述标准部分的材料是标准电介质材料，所述泄漏部分的材料是泄漏电介质材料。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 微机 系统 换能器 制造 方法 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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