[发明专利]蒸镀速率检测设备、蒸镀设备及蒸镀速率检测方法在审
| 申请号： | 202111299900.7 | 申请日： | 2021-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN113981379A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 刘文豪;加新星;刘金彪;罗楠;肖昂;姬磊;李靖;晋亚杰;李元星;胡斌;周杰;蒲红均;兰代江;李端瑞;王天昊;黄瑮;党博谭;尹茂吉;刘飞;熊呈祥;祁泽宙;汪泽峰;刘雅楼 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 崔家源;范继晨 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开实施例提供了一种蒸镀速率检测设备、蒸镀设备及蒸镀速率检测方法，至少包括：旋转挡板、带孔盖和晶振盘；其中，晶振盘上设置有多个晶振片；带孔盖设置在晶振盘外侧，带孔盖的投影面积覆盖晶振盘，带孔盖上设置有两个第一通孔，第一通孔用于完全露出晶振盘上的整个晶振片；旋转挡板设置在带孔盖外侧，旋转挡板上设置有预定形状的第二通孔，第二通孔用于在旋转挡板按照预定速度旋转至第一通孔所在位置时完全露出第一通孔内的全部第一晶振片和部分第二晶振片，以通过露出的部分第二晶振片在第二晶振片整体上蒸镀第一预定厚度的蒸镀材料。通过运用本公开实施例，在切换晶振片时蒸镀速率不会波动，提升了产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 速率 检测 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111299900.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
