[发明专利]蒸镀速率检测设备、蒸镀设备及蒸镀速率检测方法

说明书

本公开实施例提供了一种蒸镀速率检测设备、蒸镀设备及蒸镀速率检测方法，至少包括：旋转挡板、带孔盖和晶振盘；其中，晶振盘上设置有多个晶振片；带孔盖设置在晶振盘外侧，带孔盖的投影面积覆盖晶振盘，带孔盖上设置有两个第一通孔，第一通孔用于完全露出晶振盘上的整个晶振片；旋转挡板设置在带孔盖外侧，旋转挡板上设置有预定形状的第二通孔，第二通孔用于在旋转挡板按照预定速度旋转至第一通孔所在位置时完全露出第一通孔内的全部第一晶振片和部分第二晶振片，以通过露出的部分第二晶振片在第二晶振片整体上蒸镀第一预定厚度的蒸镀材料。通过运用本公开实施例，在切换晶振片时蒸镀速率不会波动，提升了产品质量。

技术领域

本公开涉及显示领域，特别涉及一种蒸镀速率检测设备、蒸镀设备及蒸镀速率检测方法。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二级管)显示屏具有对比度高、厚度薄、能耗小、驱动电压低、视角广、反应速度快、可制作柔性面板、使用温度范围广等优异特性，被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。

当前实现OLED器件结构通常使用蒸镀工艺，是指在一定的真空条件下加热有机和金属蒸镀材料，使蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸汽，然后凝结在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。

对于蒸镀工艺而言，提高材料沉积速率稳定性是其重要一环。在蒸镀过程中，有机材料不断沉积到晶振片上，通过处理震荡频率等参数，计算出当前的蒸镀速率，所以保证材料稳定沉积到晶振片上成为稳定蒸镀速率的重中之重。但是，每颗晶振片使用寿命较短，需要经常切换新晶振片对应生产，而新晶振片表面光滑，沉积的材料会脱落，所以在切换晶振片时会出现速率波动的现象，造成宕机和各颜色发光效率降低的问题。

发明内容

有鉴于此，本公开实施例提出了一种蒸镀速率检测设备、蒸镀设备及蒸镀速率检测方法，用以解决现有技术的如下问题：在更换新的晶振片时，新晶振片表面光滑，沉积的材料会脱落，进而在切换晶振片时会出现速率波动的现象，造成宕机和各颜色发光效率降低的问题。

一方面，本公开实施例提出了一种蒸镀速率检测设备，至少包括：旋转挡板、带孔盖和晶振盘；其中，所述晶振盘上设置有多个晶振片；所述带孔盖设置在所述晶振盘外侧，所述带孔盖的投影面积覆盖所述晶振盘，所述带孔盖上设置有两个第一通孔，所述第一通孔用于完全露出所述晶振盘上的整个晶振片；所述旋转挡板设置在所述带孔盖外侧，所述旋转挡板上设置有预定形状的第二通孔，所述第二通孔用于在所述旋转挡板按照预定速度旋转至所述第一通孔所在位置时完全露出所述第一通孔内的全部第一晶振片和部分第二晶振片，以通过露出的部分所述第二晶振片在所述第二晶振片整体上蒸镀第一预定厚度的蒸镀材料。

在一些实施例中，所述第一通孔完全露出的两个晶振片为相邻的两个晶振片。

在一些实施例中，所述第二通孔的数量为一个或两个。

在一些实施例中，在所述第二通孔的数量为一个时，所述第二通孔的形状包括第一部分和第二部分，所述第一部分用于露出整个第一晶振片，所述第一部分为圆形、方形、梯形或三角形，第二部分用于露出部分第二晶振片，所述第二部分为圆形、方形或三角形。

在一些实施例中，在所述第二通孔的数量为两个时，第一个第二通孔的形状与第二个第二通孔的形状相同，所述第二个第二通孔的面积小于所述第一个第二通孔的面积。

在一些实施例中，晶振盘包括：正盘、背盘和簧片；其中，所述正盘用于承载晶振片，所述正盘嵌入在所述背盘中，以与所述背盘处于一个平面内；所述簧片，用于在第一晶振片上蒸镀材料的厚度达到第二预定厚度时，调整所述晶振盘上各个晶振片的位置，以将具有所述第一预定厚度蒸镀材料的所述第二晶振片切换至所述第一晶振片对应的第一通孔位置，并将第三晶振片切换至所述第二晶振片对应的第一通孔位置，所述第三晶振片与所述第二晶振片相邻。

在一些实施例中，所述晶振盘的正盘为聚四氟乙烯材料。