[发明专利]一种实现无场翻转的重金属/铁磁/重金属异质结及其制备方法有效
| 申请号： | 202111297781.1 | 申请日： | 2021-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN114032504B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 陈焕坚 | 申请（专利权）人： | 之江实验室 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/18;C23C14/35;H01L43/06;H01L43/04;H01L43/14 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 张荣鑫 |
| 地址： | 310023 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种实现无场翻转的重金属/铁磁/重金属异质结及其制备方法，包括基片，位于所述基片上的底部重金属层，位于所述底部重金属层上的铁磁层，位于所述铁磁层上的顶部重金属层，所述顶部重金属层为楔形结构；制备方法包括以下步骤：S1：在本底真空及高纯度氩气条件下，以重金属为靶材，采用超高真空磁控溅射技术在基片上沉积重金属得到底部重金属层；以铁磁金属为靶材，采用超高真空磁控溅射技术在所述底部重金属层上沉积铁磁得到铁磁层；以重金属为靶材，采用超高真空磁控溅射技术在所述铁磁层上沉积重金属得到顶部重金属层。本发明可实现无外磁场下的电致磁矩翻转，通过调控顶部重金属层楔形的厚度，获得无场翻转所需结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 翻转 重金属 铁磁 异质结 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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