[发明专利]铝钛合金声波装置在审

专利信息
申请号: 202111285870.4 申请日: 2021-11-03
公开(公告)号: CN116073787A 公开(公告)日: 2023-05-05
发明(设计)人: 覃超;郑楠 申请(专利权)人: 深圳市中金岭南鑫越新材料有限公司
主分类号: H03H9/13 分类号: H03H9/13;H03H9/145
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地址: 518118 广东省深圳市坪山区坑*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 铝钛合金声波装置,包括压电基板、第一电极膜、第二电极膜;第一电极膜布置在压电基板的顶表面上,并且限定包括IDT电极的电极;第二电极膜从压电基板的上表面延伸至第一电极膜的上表面的一部分;第二电极膜包括布线电极和焊盘电极,第二电极膜还包括分层金属膜,分层金属膜包括多层沉积的多个金属膜;金属膜为铝钛合金,第二电极膜的分层金属膜的最下层设置为延伸至第二电极膜的侧面;本发明能够有效地抑制限定布线电极的电极膜中的迁移,使得布线电极不太可能断裂或短路。
搜索关键词: 钛合金 声波 装置
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  • 铝钛合金声波装置,包括压电基板、第一电极膜、第二电极膜;第一电极膜布置在压电基板的顶表面上,并且限定包括IDT电极的电极;第二电极膜从压电基板的上表面延伸至第一电极膜的上表面的一部分;第二电极膜包括布线电极和焊盘电极,第二电极膜还包括分层金属膜,分层金属膜包括多层沉积的多个金属膜;金属膜为铝钛合金,第二电极膜的分层金属膜的最下层设置为延伸至第二电极膜的侧面;本实用新型能够有效地抑制限定布线电极的电极膜中的迁移,使得布线电极不太可能断裂或短路。
  • 一种大带宽声表面波滤波器及射频前端滤波装置-202123140628.6
  • 牛青山;韦鹏;邓士宝;陆增天 - 无锡市好达电子股份有限公司
  • 2021-12-14 - 2022-06-17 - H03H9/13
  • 本实用新型公开了一种大带宽声表面波滤波器及射频前端滤波装置,涉及半导体领域,该滤波器包括压电基板和形成在所述压电基板上的梯形电路结构,梯形电路结构包括连接输入端与输出端的串联支路和至少一个连接串联支路与接地端的并联支路,串联支路包括至少一个声表面波谐振器,并联支路包括至少一个声表面波谐振器;串联支路中的声表面波谐振器的金属化比率小于并联支路中的声表面波谐振器的金属化比率;串联支路中的声表面波谐振器的有效面积之和小于并联支路中的声表面波谐振器的有效面积之和。该滤波器结构在保证滤波器通带带宽的同时,极大地提升了声表面波滤波器的矩形度,有效利用通讯领域的频谱资源,减少了频谱间不同频段间的串扰问题。
  • 弹性波装置-202080066167.1
  • 木村哲也;永友翔;山根毅 - 株式会社村田制作所
  • 2020-09-25 - 2022-05-10 - H03H9/13
  • 本发明提供一种即使在推进了小型化的情况下也能够提高Q值且能够使失真特性提高的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电体层(4)和第1电极(51)以及第2电极(52)。第1电极(51)以及第2电极(52)在与压电体层(4)的厚度方向(D1)交叉的方向(D2)上对置。弹性波装置(1)利用厚度剪切一阶模的体波。压电体层(4)的材料是铌酸锂或钽酸锂。第1电极(51)以及第2电极(52)各自包含形成在压电体层(4)上的铝层(511、521)。构成铝层(511、521)的晶体的取向方向是相对于铝层(511、521)中的压电体层(4)侧的第2主面(524)正交的方向。
  • 谐振器及滤波器-202111314253.2
  • 不公告发明人 - 深圳新声半导体有限公司
  • 2021-11-08 - 2022-04-01 - H03H9/13
  • 本申请涉及滤波器技术领域,公开一种谐振器,包括:压电层、第一电极、第二电极、第三电极和第二电极;压电层一侧与第一电极的一侧连接;第一电极另一侧连接有第三电极;第二电极连接压电层的另一侧;第一电极、第二电极和压电层在谐振器的厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域;第三电极在谐振器的横向方向上位于有效区域之外;第四电极与第二电极连接,第四电极与压电层位于第二电极的同侧且第四电极与第一电极之间绝缘。采用本申请提供的谐振器,能够在谐振器电极变薄的情况下,在不影响谐振器的谐振同时不会增大谐振器的有效电阻。本申请还公开一种滤波器。
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