[发明专利]压电陶瓷片的烧结装置及烧结方法在审
申请号: | 202111284671.1 | 申请日: | 2021-11-01 |
公开(公告)号: | CN114122251A | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 张曙光;朱兆焱;黄仕华 | 申请(专利权)人: | 广东奥迪威传感科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L41/43 | 分类号: | H01L41/43;H01L41/083;H01L41/187 |
代理公司: | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人: | 刘延喜 |
地址: | 511400 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请实施例提供了一种压电陶瓷片的烧结装置及烧结方法。该压电陶瓷片的烧结装置,包括层叠结构;所述层叠结构,包括:m个压电陶瓷片坯膜,m≥1;以及,n个隔板,所述隔板沿竖直方向与所述压电陶瓷片坯膜交替地层叠,所述层叠结构的顶层为n个所述隔板中自上而下的第一层,所述层叠结构的底层为n个所述隔板中自上而下的第n层,n≥2且nm。本申请实施例用以解决现有技术存在烧结出来的压电陶瓷片易粘接而不易取下的技术问题,能够有效减小压电陶瓷膜片在烧结过程中发生变形及撕裂的可能性。 | ||
搜索关键词: | 压电 陶瓷 烧结 装置 方法 | ||
【主权项】:
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