[发明专利]一种SiC JBS元胞结构及制备方法有效
| 申请号： | 202111277167.9 | 申请日： | 2021-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN113990934B | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 侯斌;杨晓文;杨鹏翮;鲁红玲;李照;黄山圃;胡长青 | 申请（专利权）人： | 西安微电子技术研究所 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/872;H01L21/04 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陈翠兰 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种SiC JBS元胞结构，包括第一元胞和第二元胞；第二元胞的周边排列有若干个第一元胞；第一元胞的填充区域的横截面由内向外依次为第三图形，第二图形，第一图形；区域类型依次对应为SBD区、P+区、SBD区或依次为P+区、SBD区、P+区；第二元胞的填充区域的横截面为第四图形，区域类型为P型掺杂区；第一图形为正六边形，第二图形为正六边形，第三图形为圆形或正六边形，第四图形为正六边形。本发明的通过控制元胞结构的图形的几何尺寸以及各元胞间的相对距离以控制SiC‑JBS痛电流的大小，通过合理分布P+区，达到提高浪涌电流的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sic jbs 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安微电子技术研究所，未经西安微电子技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111277167.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
