[发明专利]一种柔性压电薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202111271703.4 | 申请日： | 2021-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN114122252A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 朱四美;周震 | 申请（专利权）人： | 苏州能斯达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/45 | 分类号： | H01L41/45;H01L41/317;H01L41/257 |
| 代理公司： | 常州品益专利代理事务所(普通合伙) 32401 | 代理人： | 侯慧娜;潘兵 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种柔性压电薄膜的制备方法。这种柔性压电薄膜的制备方法包括：S1、称取原料；S2、称取溶剂；S3、水浴加热，溶解；S4、将上述混合溶液在柔性基底上采用丝网印刷、旋涂或涂布的工艺图案化成膜，先在40～80℃温度中烘烤20～60min，再在80～120℃烘烤20～60min，最后在120～140℃中退火0.5～8小时，得到柔性压电薄膜半成品；S5、将退火后的柔性压电薄膜半成品在空气中常温极化，极化电压10～35MV/cm，时间1～60min，得到柔性压电薄膜成品。本发明通过高沸点和低沸点混合溶剂制备了高压电常数的压电薄膜，符合压电薄膜传感器对压电常数的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 压电 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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