[发明专利]一种柔性压电薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202111271703.4 | 申请日： | 2021-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN114122252A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 朱四美;周震 | 申请（专利权）人： | 苏州能斯达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/45 | 分类号： | H01L41/45;H01L41/317;H01L41/257 |
| 代理公司： | 常州品益专利代理事务所(普通合伙) 32401 | 代理人： | 侯慧娜;潘兵 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 压电 薄膜 制备 方法 | ||
1.一种柔性压电薄膜的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：
S1、称取含量10～25％wt聚偏氟乙烯-三氟乙烯粉末；
S2、称取高沸点溶剂和低沸点溶剂进行混合制得混合溶剂；
S3、将聚偏氟乙烯-三氟乙烯粉末溶于上述混合溶剂中，在水浴中搅拌1～8h，水浴温度为50～80℃，搅拌速度200～2000转/秒，制得混合溶液；
S4、将上述混合溶液在柔性基底上采用丝网印刷、旋涂或涂布工艺图案化成膜，先在40～80℃温度中烘烤20～60min，再在80～120℃烘烤20～60min，最后在120～140℃中退火0.5～8小时，得到柔性压电薄膜半成品；
S5、将退火后的柔性压电薄膜半成品在空气中常温极化，极化电压10～35MV/cm，时间1～60min，得到柔性压电薄膜成品。
2.根据权利要求1所述的一种柔性压电薄膜的制备方法，其特征在于：所述S1中聚偏氟乙烯-三氟乙烯粉末的含量为15～18％wt。
3.根据权利要求1所述的一种柔性压电薄膜的制备方法，其特征在于：所述S2中高沸点溶剂和低沸点溶剂的质量比为：(1：4)～(4：1)。
4.根据权利要求1所述的一种柔性压电薄膜的制备方法，其特征在于：所述S2中高沸点溶剂为二甲基甲酰胺、磷酸三乙脂、碳酸丙烯脂、三醋酸甘油酯或N-甲基-2-吡咯烷酮中的一种，低沸点溶剂为丙酮、甲基乙基酮、乙二醇乙醚或乙酸正丁酯中的任一种。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州能斯达电子科技有限公司，未经苏州能斯达电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111271703.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
