[发明专利]基板载具和电化学沉积设备在审
| 申请号： | 202111265856.8 | 申请日： | 2021-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN113882004A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 闫俊伟;袁广才;孙少东;王成飞;董士豪;张国才;曲燕 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/06 | 分类号： | C25D17/06;C25D17/00 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 张筱宁 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种基板载具和电化学沉积设备。该基板载具，包括：承载板，至少一侧用于承载基板，且至少一侧具有导电结构；盖板，包括盖板本体和弹性连接电极；盖板本体与承载板可拆卸连接；弹性连接电极与盖板本体连接，弹性连接电极用于将基板限制于承载板的一侧，并连接基板的导电种子层和承载板的导电结构。本申请实施例提供的基板载具实现了盖板与承载板对基板的柔性夹持，有利于为施加于基板的夹持力提供一定的自适应调节空间，相对于刚性夹持而言，柔性夹持既能为基板提供充足的夹持力，实现对基板的稳定、有效夹持，又能避免夹持力过大而损坏基板。 | ||
| 搜索关键词： | 基板载具 电化学 沉积 设备 | ||
【主权项】：
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