[发明专利]基板载具和电化学沉积设备

权利要求书

1.一种基板载具，其特征在于，包括：

承载板，至少一侧用于承载基板，且所述至少一侧具有导电结构；

盖板，包括盖板本体和弹性连接电极；所述盖板本体与所述承载板可拆卸连接；所述弹性连接电极与所述盖板本体连接，所述弹性连接电极用于将所述基板限制于所述承载板的一侧，并连接所述基板的导电种子层和所述承载板的所述导电结构；

所述弹性连接电极包括依次连接的：第一电连接部、第一弹性部、基桩部和第二电连接部；

所述第一电连接部用于将所述基板限制于所述承载板的一侧，并连接所述基板的导电种子层；所述第一电连接部包括至少两个指状结构；所述指状结构的一端与所述第一弹性部连接，另一端向远离所述第一弹性部的方向延伸；

所述基桩部与所述盖板本体连接；

所述第二电连接部用于连接所述承载板的所述导电结构。

2.根据权利要求1所述的基板载具，其特征在于，至少部分所述指状结构相互平行；

和/或，至少部分所述指状结构的另一端到所述第一弹性部的距离相等。

3.根据权利要求1-2中任一项所述的基板载具，其特征在于，所述弹性连接电极还包括：第二弹性部；

所述第二弹性部连接于所述基桩部与所述第二电连接部之间。

4.根据权利要求3所述的基板载具，其特征在于，所述第一弹性部和所述第二弹性部中的至少一种是板状结构，所述板状结构所在的平面与所述基桩部所在的平面之间呈α夹角，0°＜α＜90°。

5.根据权利要求3所述的基板载具，其特征在于，所述盖板包括至少两个所述弹性连接电极；

至少部分所述弹性连接电极在所述盖板本体的一侧等距间隔分布。

6.根据权利要求5所述的基板载具，其特征在于，所述基板载具还包括：压合结构；

所述压合结构与至少部分所述弹性连接电极连接。

7.根据权利要求6所述的基板载具，其特征在于，所述压合结构与所述弹性连接电极的所述基桩部连接。

8.根据权利要求6或7所述的基板载具，其特征在于，所述压合结构为框体结构导电体。

9.根据权利要求1所述的基板载具，其特征在于，所述基板载具还包括：密封结构；

所述密封结构位于所述盖板本体靠近所述弹性连接电极的一侧；

所述密封结构、所述盖板本体、所述承载板以及所述承载板所承载的基板之间形成密封空间，所述密封空间至少容纳所述弹性连接电极。

10.根据权利要求9所述的基板载具，其特征在于，所述密封结构包括：第一密封圈和第二密封圈；

所述第一密封圈环绕所述盖板本体的沉积开口，用于与所述承载板所承载的基板接触；

所述第二密封圈环绕所述盖板本体的外边缘，用于与所述承载板接触。

11.一种电化学沉积设备，其特征在于，包括：如上述权利要求1-10中任一项所述的基板载具。