[发明专利]基于多重稀释法的半导体溶剂ICP-MS测定方法在审
申请号: | 202111257769.8 | 申请日: | 2021-10-27 |
公开(公告)号: | CN113933376A | 公开(公告)日: | 2022-01-14 |
发明(设计)人: | 宋牧函;孔磊;唐斌;王翼 | 申请(专利权)人: | 雅邦绿色过程与新材料研究院南京有限公司 |
主分类号: | G01N27/626 | 分类号: | G01N27/626 |
代理公司: | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人: | 许小莉 |
地址: | 210047 江苏省南京市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种基于多重稀释法的半导体化学品ICP‑MS测定方法,包括如下步骤:首先将不能与水混合的待测定的半导体溶剂,加入助溶溶剂成为混合有机溶剂;然后将混合有机溶剂加纯水稀释得到1#稀释样品;再将1#稀释样品再加入纯水进行稀释得到2#稀释样品;对于待测定的半导体溶剂中的一种元素,以1#稀释样品,用电感耦合等离子质谱仪扫描得到标准曲线并计算出1#稀释样品的浓度C1;同理计算出2#稀释样品中该种元素的浓度C2;并将结果带入拟合算法公式,得到该元素在待测定的半导体溶剂中的浓度。本发明通过同一样品不同稀释倍数法,对混合基体ICP‑MS测定的信号值进行背景拟合运算,实现痕量元素的准确测定。 | ||
搜索关键词: | 基于 多重 稀释 半导体 溶剂 icp ms 测定 方法 | ||
【主权项】:
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