[发明专利]一种基于RIE等离子刻蚀制绒的背接触异质结太阳电池在审
| 申请号： | 202111254382.7 | 申请日： | 2021-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN114038924A | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 欧文凯;李含朋;向亮睿 | 申请（专利权）人： | 普乐新能源科技（徐州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0236 | 分类号： | H01L31/0236;H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/0747;H01L31/20;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京喆翙知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 尚欣 |
| 地址： | 221000 江苏省徐州市高新技*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基于RIE等离子刻蚀制绒的背接触异质结太阳电池，包括晶硅衬底，所述晶硅衬底的前表面包括至少一种钝化层，所述前表面经过RIE等离子刻蚀方法，形成超低反射率表面；所述晶硅衬底的背表面从内到外分别包括隧穿氧化层、交替排列的n+掺杂非晶硅层/p+掺杂非晶硅层、激光开槽区、钝化层和金属电极。本发明优点在于：优化了掺杂非晶硅生长方式，进一步改善高效电池光学吸收，提升电池钝化能力，适用于在交叉指式背接触异质结太阳电池(HBC)中作为掺杂非晶硅钝化层的形成以及前表面光吸收层的制作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 rie 等离子 刻蚀 接触 异质结 太阳电池 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于普乐新能源科技（徐州）有限公司，未经普乐新能源科技（徐州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111254382.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
