[发明专利]热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆

摘要

本发明公开了一种热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，包括：杆体，杆体内设有压电组件和倾转传动机构；样品部，样品部包括基座、倾转座和电路板，倾转座适于固定芯片样品，倾转座上设有标准样品基座，标准样品基座上设有标准样品压片，电路板上设有多个电极；钨针，钨针可沿杆体的轴向移动地且可拆卸地设在杆体上；驱动部，驱动部设在杆体上，驱动部上设有驱动装置和微分头，驱动装置通过倾转传动机构与倾转座传动连接以驱动倾转座转动，微分头通过压电组件与钨针传动连接。根据本发明实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆具有适用于不同样品、能够满足不同实验要求等优点。