[发明专利]热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆

权利要求书

1.一种热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，其特征在于，包括：

杆体，所述杆体内设有压电组件和倾转传动机构；

样品部，所述样品部包括基座、倾转座和电路板，所述基座安装在所述杆体上，所述基座具有两个沿所述杆体轴向延伸的平行段和连接两个平行段的连接段，每个所述平行段上设有转轴，所述倾转座可转动地设在两个所述转轴上，所述倾转座适于固定芯片样品，所述倾转座上可拆卸地设有标准样品基座，所述标准样品基座上设有标准样品压片，所述电路板安装在所述倾转座上，所述电路板上设有多个电极，所述电极在适于贴合样品的贴合位置和脱离样品的脱离位置之间可移动地设在所述电路板上；

钨针，所述钨针可沿所述杆体的轴向移动地且可拆卸地设在所述杆体上，所述压电组件与所述钨针相连以驱动所述钨针；

驱动部，所述驱动部设在所述杆体上，所述驱动部上设有驱动装置和微分头，所述驱动装置通过所述倾转传动机构与所述倾转座传动连接以驱动所述倾转座转动，所述微分头通过所述压电组件与所述钨针传动连接以驱动所述钨针，所述压电组件用于在纳米量级驱动所述钨针，所述微分头用于在微米和毫米量级驱动所述钨针。

2.根据权利要求1所述的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，其特征在于，所述倾转座上设有用于避让所述钨针的避让槽。

3.根据权利要求1所述的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，其特征在于，所述标准样品基座和所述标准样品压片上设有用于避让所述钨针的避让槽。

4.根据权利要求1所述的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，其特征在于，所述电极为钨针电极或晶圆探针电极，所述电极通过可调的螺纹紧固件安装在所述电路板上，所述电极与所述电路板之间设有压簧。

5.根据权利要求1所述的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，其特征在于，所述基座可拆卸地安装在所述杆体上。

6.根据权利要求1所述的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，其特征在于，所述基座上设有复位扭簧，所述复位扭簧与所述倾转座相连。

7.根据权利要求1所述的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，其特征在于，所述驱动装置包括电机、丝杠、主动齿轮和从动齿轮，所述电机设在所述驱动部内，所述主动齿轮设在所述电机的电机轴上，所述从动齿轮设在所述丝杠上且与所述主动齿轮啮合，所述丝杠适于将沿轴线的转动转化为沿轴向的移动，所述丝杠与通过所述倾转传动机构与所述倾转座传动连接。

8.根据权利要求1所述的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，其特征在于，所述杆体内具有真空封装槽，所述真空封装槽内设有插头、绝缘导线组、真空绝缘胶、密封圈，所述真空绝缘胶设在所述插头外，所述密封圈设在所述真空绝缘胶外。

9.根据权利要求1所述的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，其特征在于，所述倾转传动机构具有外套杆段，所述压电组件具有内套杆段，所述外套杆段沿所述杆体的轴向移动地配合在所述杆体内，所述内套杆段沿所述杆体的轴向可移动地配合在所述外套杆段内。

10.根据权利要求9所述的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，其特征在于，所述外套杆段与所述杆体之间配合有密封圈。