[发明专利]热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆

说明书

本发明公开了一种热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，包括：杆体，杆体内设有压电组件和倾转传动机构；样品部，样品部包括基座、倾转座和电路板，倾转座适于固定芯片样品，倾转座上设有标准样品基座，标准样品基座上设有标准样品压片，电路板上设有多个电极；钨针，钨针可沿杆体的轴向移动地且可拆卸地设在杆体上；驱动部，驱动部设在杆体上，驱动部上设有驱动装置和微分头，驱动装置通过倾转传动机构与倾转座传动连接以驱动倾转座转动，微分头通过压电组件与钨针传动连接。根据本发明实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆具有适用于不同样品、能够满足不同实验要求等优点。

技术领域

本发明涉及透射电镜实验领域，具体而言，涉及一种热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆。

背景技术

材料的宏观性能取决于材料的微观组织结构，透射电子显微镜是表征研究材料微观组织结构的核心设备。样品杆用于承载待检测的透射电镜样品，是透射电镜的关键部件之一。

相关技术中的样品杆，其功能单一，进行不同实验需要购置不同的样品杆，难以满足不同的实验研究需要，而且样品杆的价格昂贵，进行不同实验需要的总成本较高。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，该热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆具有适用于不同样品、能够满足不同实验要求等优点。

为实现上述目的，根据本发明的实施例提出一种热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，所述热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆包括：杆体，所述杆体内设有压电组件和倾转传动机构；样品部，所述样品部包括基座、倾转座和电路板，所述基座安装在所述杆体上，所述基座具有两个沿所述杆体轴向延伸的平行段和连接两个平行段的连接段，每个所述平行段上设有转轴，所述倾转座可转动地设在两个所述转轴上，所述倾转座适于固定芯片样品，所述倾转座上可拆卸地设有标准样品基座，所述标准样品基座上设有标准样品压片，所述电路板安装在所述倾转座上，所述电路板上设有多个电极，所述电极在适于贴合样品的贴合位置和脱离样品的脱离位置之间可移动地设在所述电路板上；钨针，所述钨针可沿所述杆体的轴向移动地且可拆卸地设在所述杆体上，所述压电组件与所述钨针相连以驱动所述钨针；驱动部，所述驱动部设在所述杆体上，所述驱动部上设有驱动装置和微分头，所述驱动装置通过所述倾转传动机构与所述倾转座传动连接以驱动所述倾转座转动，所述微分头通过所述压电组件与所述钨针传动连接以驱动所述钨针，所述压电组件用于在纳米量级驱动所述钨针，所述微分头用于在微米和毫米量级驱动所述钨针。

根据本发明实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，具有适用于不同样品、能够满足不同实验要求等优点。

另外，根据本发明上述实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆还可以具有如下附加的技术特征：

根据本发明的一个实施例，所述倾转座上设有用于避让所述钨针的避让槽。

根据本发明的一个实施例，所述标准样品基座和所述标准样品压片上设有用于避让所述钨针的避让槽。

根据本发明的一个实施例，所述电极为钨针电极或晶圆探针电极，所述电极通过可调的螺纹紧固件安装在所述电路板上，所述电极与所述电路板之间设有压簧。

根据本发明的一个实施例，所述基座可拆卸地安装在所述杆体上。

根据本发明的一个实施例，所述基座上设有复位扭簧，所述复位扭簧与所述倾转座相连。

根据本发明的一个实施例，所述驱动装置包括电机、丝杠、主动齿轮和从动齿轮，所述电机设在所述驱动部内，所述主动齿轮设在所述电机的电机轴上，所述从动齿轮设在所述丝杠上且与所述主动齿轮啮合，所述丝杠适于将沿轴线的转动转化为沿轴向的移动，所述丝杠与通过所述倾转传动机构与所述倾转座传动连接。