[发明专利]一种外延片的检测方法及装置有效
| 申请号： | 202111243865.7 | 申请日： | 2021-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN113680710B | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 王岩;徐鹏飞;罗帅;季海铭 | 申请（专利权）人： | 江苏华兴激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/342 | 分类号： | B07C5/342;B07C5/36;B07C5/38;G01N21/88;H01L21/66;H01L21/677 |
| 代理公司： | 江苏长德知识产权代理有限公司 32478 | 代理人： | 詹朝 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种外延片的检测装置，包括检测平台，检测平台上设有输送机构和光检测机构，检测平台的下方设有次品输送带，所述输送机构包括两个前后对称设置的链条机构，两个链条机构之间设置物料带，两个链条机构用于向右输送物料带；光检测机构包括检测座和检测支架，检测座通过检测支架连接检测平台，检测座位于物料带的上方，检测座上设有光源和光收集器；光收集器下方的物料带的一侧设有开关机构，开关机构包括推板以及连接推板的直线驱动机构；本发明的物料带能够作为输送外延片的载体，同时作为外延片的容器，能够方便外延片的转运，提高外延片的检测速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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