[发明专利]一种外延片的检测方法及装置

说明书

本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种外延片的检测装置，包括检测平台，检测平台上设有输送机构和光检测机构，检测平台的下方设有次品输送带，所述输送机构包括两个前后对称设置的链条机构，两个链条机构之间设置物料带，两个链条机构用于向右输送物料带；光检测机构包括检测座和检测支架，检测座通过检测支架连接检测平台，检测座位于物料带的上方，检测座上设有光源和光收集器；光收集器下方的物料带的一侧设有开关机构，开关机构包括推板以及连接推板的直线驱动机构；本发明的物料带能够作为输送外延片的载体，同时作为外延片的容器，能够方便外延片的转运，提高外延片的检测速度。

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，更具体地说，它涉及一种外延片的检测装置。

背景技术

半导体晶片的检测是将检测光源投射到半导体晶片上，在半导体晶片上的上方布置光路收集系统，获得半导体晶片的光强或光谱数据；现有技术中的外延片的检测需要将外延片从容器逐个夹取到检测平台上，检测完成之后需要重新夹取到容器内转运，外延片的上料和下料影响检测速度。

发明内容

本发明提供一种外延片的检测装置，解决相关技术中外延片的上料和下料影响检测速度的技术问题。

根据本发明的一个方面，提供了一种外延片的检测装置，包括检测平台，检测平台上设有输送机构和光检测机构，检测平台的下方设有次品输送带，次品输送带包括皮带，皮带绕在两个输送辊上，输送辊的两端通过轴承连接输送架，其中一个输送辊的一端连接输送电机的输出端；所述输送机构包括两个前后对称设置的链条机构，两个链条机构之间设置物料带，两个链条机构用于向右输送物料带，物料带的材料为柔性材料，物料带上设有多个物料筒，物料筒的顶部和底部设有开口，物料筒的底部开口上设有开关板，开关板与物料筒滑动连接，开关板上设有与物料筒的开口形状大小一致的孔，每个链条机构包括两个输送链轮和一个输送链条，输送链条绕在两个输送链轮上，两个输送链轮位于同一平面内，两个输送链轮的中心设置链轮轴，并且两个输送链轮的链轮轴均是纵向设置，链轮轴通过轴承与检测平台转动的连接，两个输送链轮中的任意一个输送链轮连接链轮电机的输出轴；两个输送机构的输送链轮的旋转方向相反但是旋转速度相同；

输送链条由多个链节连接构成，链节由两个对称设置的链板组成，相邻的链节的链板之间通过销轴转动的连接，链节的链板的远离输送链轮的一侧连接有夹具座，夹具座上设置夹具，夹具包括两个对称设置于链节两侧的翻板，翻板通过转轴连接夹具座，翻板远离输送链轮的一面设有夹块，翻板靠近输送链轮的一面设有导杆，靠近物料带的一段输送链条的远离物料带的一侧设有导轨，导轨连接检测平台，夹具的导杆与导轨接触时两个翻板旋转相互靠近，使夹块夹住物料带；

上述的输送机构是通过链轮电机驱动输送链条回转运动，物料带两侧的链节同步的向右移动，在链节移动至导杆移动到导轨的左端上时夹具的导杆推动使夹块夹住物料带，携带物料带向右移动，链节向右移动直至导杆脱离导轨时，夹块脱离物料带，使物料带脱离夹具，通过上述的输送机构能够实现物料带从左至右的移动。

光检测机构包括检测座和检测支架，检测座通过检测支架连接检测平台，检测座位于物料带的上方，检测座上设有光源和光收集器，光源发射光线照射到物料带上的工件上，工件表面反射的光线被光收集器收集，光收集器至少包括收集镜头和用于采集光信号的传感器；

光收集器下方的物料带的一侧设有开关机构，开关机构包括推板以及连接推板的直线驱动机构，直线驱动机构用于驱动推板向物料带一侧移动，推板与物料带的物料筒的开关板位于同一水平面；光收集器下方的检测平台上设有直径大于物料筒的开口的孔。

光检测机构检测工件，如果工件不合格则直线驱动机构推动推板向物料带一侧移动能够推动开关板移动，使开关板的孔与物料筒的开口对准，物料筒内的工件落到下方的次品输送带上。

夹块的顶部一侧设有斜面。该斜面能够在夹块夹住物料带时与物料带的表面接触，进一步，在斜面上设置防滑纹。